硅烷系統（設計和管路要求）

一、硅烷（SiH4）的化學特性

  1、硅烷（SiH4）可以通過熱分解或與其它氣體的化學反應制得單晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物質。
例如：半導體行業中，硅烷（SiH4）是顯示屏制造中最關鍵的氣體之一，與氨氣（NH3）結合使用，形成用于a-Si晶體管的氮化硅層；與氧化亞氮（N2O）結合使用形成MO晶體管的氧化硅層。

  2.硅烷(SiH4)的利用可以實現高純度超精細(可達原子尺寸)的控制和最靈活多變的化學反應，從而將各種含硅材料制成復雜精細的結構滿足各種重要這也正是現代具有各種特異功能的材料和器件所要求的基本條件。
二、硅烷特氣柜設計要求
  1、因為硅烷(SiH4)的危險性，所以整套系統應該配備惰性吹掃裝置，而且應該設置單獨的惰性氣體鋼瓶(比如高壓N2)進行吹掃，不得采用管道氮氣吹掃。
  2、硅烷(SiH4)與空氣會自燃，柜內應配備氣體泄露偵測器、火焰探測器等當發生泄漏時，能及時報警處理，避免更大的事發生。
  3、硅烷系統的排氣管不得接入排風系統，硅烷和硅烷混合物排氣系統應該獨立于其它氣體排氣系統。
  4、如果排氣的硅烷(SiH4)濃度較高時，應采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。
  5、由干存在通過系統的周定慣性氣流，要設有防止回流裝置
  6、排氣管應采用惰性氣體連續吹掃，吹掃氣體流速不得小于0.3m/S。

三、硅烷管道要求

  1、硅烷特氣管道安裝一般優先選用管道系統是316或316L無縫EP級不銹鋼，其內外表面極其光亮，且具有焊接結構，額定壓力為最大運轉壓力的1.5倍，在三倍的正常傳輸壓力到最 大額定壓力之間用氨檢漏，理想的系統應該全部是焊接的。
  2、潔凈管道的焊接除了要達到常規工業管道對焊縫的要求外，還要求焊接時管內、外表面不受污染，焊縫內、外表面必須與母材光亮度基本一致。
  3、硅烷特氣管道系統上不允許使用襯墊閥。只能使用無襯墊膈膜閥或波紋管閥。在所有的配送系統上都應安裝流量控制閥或流量開關，以便在流線型破梨的情況下切斷氣流。這個切斷閥應該盡可能接近氣源。
  4、在硅烷設施中，所有的氣體管道、閥門和功能性組件都要貼上標簽，說明它們的用途管道上的標簽應當說明氣流方向和氣體類型。